时间: 2018-03-20 14:39:00 点击:
勻膠機有很多种称谓,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机,总的来说,他们原理都是一样的,既在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。
1、
勻膠機旋轉速度:轉速的快慢和控制精度直接關系到旋塗層的厚度控制和膜層均勻性。
勻膠機如果標示的轉速和電機的實際轉速如果誤差很大,對于要求精密塗覆的科研人員來說是無法獲得准確的實驗數據的。國産的某些
勻膠機只能提供轉速範圍,並不能精確標定實時的轉速。進口的
勻膠機雖然大部分能標定轉速,但是大部分轉速精度沒有國際標准認定。
2、真空吸附系統的構造
勻膠機的真空泵一定要無油的,
勻膠機的真空泵壓力標定准確,國內生産的無油真空泵實在不敢恭維。因爲任何
勻膠機的真空泵的油汙都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會導致基片吸附不住而産生“飛片”的情況,還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統造成完全堵塞。用過國産
勻膠機的客戶常常會關心怎麽清洗的問題,這一點許多國外的
勻膠機做得不錯,他們有通過聯動機制,如果真空吸附力不夠的時候,不會開始旋轉。
3、材質的選擇
對于半導體化工行業的應用來說,材質的選擇尤爲關鍵,大部分
勻膠機采用的是不鏽鋼或者普通塑料材質,因爲這種材質的成本很低,不鏽鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好,塑料對于較高溫度和壓力下易産生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會導致旋塗時,時高時低的顛簸狀態。自然無法得到好的旋塗效果TA-280系列高性能
勻膠機都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆,PTFE)材質。這兩種材質具備綠色環保、節約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優點。