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时间: 2018-05-18 17:00:26   点击:
  It’s not only Spin Coater,it’s Spin Processor!
 
  ——勻膠機顧名思義,一種可以“讓膠液均勻塗敷的機器”。MYCRO的WS-650S所有數據結果都可以通過電腦輸出並予以保存。完成從單純旋轉機器到旋塗儀器的升級。
 
  勻膠機是一種常見用于材料薄膜制備工藝的實驗室設備,它的原理相對比較簡單,利用電機高速旋轉時所産生的離心力使得試液或者膠液均勻地塗敷在基底材料的表面,顧名思義,一種可以“讓膠液均勻塗敷的機器”。
 
  勻膠機有很多称谓,匀胶台,旋转涂膜机,旋转涂层机或者旋转涂敷机等等,它的英文是Spin Coater(旋转涂膜的意思)。旋塗儀
 
  勻膠機既然是科研開發上制備薄膜材料必備的方法之一,使用者對于該設備最大的期待就在于其能夠“均勻”地塗敷試液或者膠液。通常我們會用均一性和可重複性來衡量薄膜材料制備的好壞。
 
  國內外對于這種勻膠旋塗設備的發展呈現出很大的差距。中國國內最先開展勻膠機研制的單位是中科院微電子所,推出的KW-4A型號的勻膠機,具有低速起步和高速旋轉兩個單位。
 
  國外的高性能勻膠機最早則集中在美國和德國。後來隨著半導體工業的發展,日韓等國家也開發出性價比較高的勻膠機器。
 
  日韓等國隨著在半導體制程,LCD,TFT顯示材料的研發制造等領域的發展占據先機,所開發的産品基本上集中于半導體濕制程系列工藝中的自動化控制系統,由于涉及到與其它工序的自動化集成的趨勢,故産品價格高得也令人咂舌。目前美德諸多公司也放棄利潤低下的單獨功能的勻膠産品發展,全部集中于半導體整體工藝的解決方案提供。
 
  MYCRO美國産的勻膠設備WS-650MZ和WS-650HZ系列,除了對于轉速的精密控制以外(轉速範圍50~12000轉/分,分辨率小于0.5轉/分,可重複性小于±0.5轉/分,由美國NIST工業標准認證,無需再校准,加速度可達80000RPM/S,最低則可達1RPM/S),加速時間可調範圍1秒至99分59.9秒,最小增加度0.1秒。
 
  MYCRO的WS-650MZ和WS-650HZ勻膠機還可以通過與電腦鏈接,以及隨機附帶的SPIN分析軟件,對于每次實驗結果進行分析調試,並挑選出最佳的制備過程。所有數據結果都可以通過電腦輸出並予以保存。完成從單純旋轉機器到旋塗儀器的升級。


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