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时间： 2018-03-20 11:57:33 点击：

　　問題1：表面出現氣泡

　　可能原因：滴膠時膠中帶有氣泡

　　噴嘴尖端切口有問題或帶刺

　　問題2：四周呈現放射狀條紋

　　可能原因：

　　膠液噴射速度過高

　　膠塗覆前靜止時間過長

　　勻膠機轉速或加速度設置過高

　　片子表片留有小顆粒

　　膠中有顆粒

　　問題3：中心出現漩渦圖案

　　可能原因：

　　設備排氣速度過高

　　噴膠時膠液偏離襯底中心

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　　問題4：中心出現圓暈

　　可能原因：

　　不合適的托盤,

　　噴嘴偏離襯底中心

　　問題5：膠液未塗滿襯底

　　可能原因：

　　給膠量不足

　　不合適的勻膠加速度

　　問題6：出現針孔現象

　　可能原因：

　　空氣中粉塵

　　光刻膠內存在顆粒或氣泡

　　襯底上存在顆粒

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