时间： 2018-05-03 14:14:51 点击：
1、依次接上真空泵的導氣管、廢液接收罐、廢液接收罐上方是排廢氣的軟管。
2、充氮N2/幹燥氣體CDA的連接，一般這個細管（如上圖4所示，口徑爲6mm）需要接到氮氣瓶或者實
驗室已有的氮氣接口。
3、氮氣瓶的接口，這種接口是箍橡皮管，需要換成找轉接頭接上
旋塗儀的6mm的白色塑料管。
4、充氮气或者干燥空气的压力需要60~70 PSI
5、按“START”鍵啓動程序，直到完成；
二、注意事項
注意事项，防止胶水进入Chuck的孔中、氮气压不可过大（细调到NEED CDA消失即可）、片子尺寸较大时旋转速度不能太快（以防飞片）等注意事项：在操作该设备时，请根据指示，勿将试剂、溶液、粉状物等异物吸入承载基片下的真空通道，保持基片底座和真空通道周边部位清洁、干燥。
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