时间： 2018-05-10 10:37:51 点击：
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(1)用丙酮與無塵紙清理之前光阻圖布的殘余物.
(2)a.選擇適合尺寸大小的吸盤(1/2",1",2",3",4",5",6",7",8").
b.將吸盤裝上(將吸盤缺口處對准軸心之插梢位置).
c.將樣品放在吸盤上(啓動前請確定樣品放在吸盤正中央的位置).※不可放入破片只能放4吋晶圓,以防光阻倒流入真空吸槽.
2.開機&設定
(1)a.將"POWER"開關打開.
b.將"CONTROL"按鈕壓下(若沒有壓下則機台將無法操作).
(2)设定涂布的时间及转速:Step I Timer I:2~18 Sec Speed I:500~2500R.P.M.Step II Timer II:3~60 Sec Speed II:1000~8000R.P.M.
(3)打開真空幫浦開關,並將"VACUUM"按鈕壓下此時開始抽真空吸附樣品.啓動"START"前,請確認塗布的時間及轉速是否已設定完成.
(4)將光阻劑滴在樣品中心的位置.並將上蓋蓋上,防止意外發生.
(5)压下"START"按钮,此时机台开始依步骤(4)的设定条件依Step I,Step II的顺序开始涂布样品.
(6)待時間完畢後,機台隨即停止運轉,完成塗布的動作.
3.關機
(1)將"VACUUM"關閉,並將真空幫浦關閉,取下完成樣品.
(2)將"CONTROL"按鈕及"POWER"開關關閉.PS.此機台有預留廢液回收口,可將多余廢液排出.
(3)用丙酮清理圖布後的光阻痕迹.
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